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M12系列 双室MOCVD设备
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M12系列 双室MOCVD设备

本设备由MOCVD沉积室,进出样品室,自动样品传递杆,工作台,特气柜组成。可用MOCVD方式沉积ZnO。采用由下向上喷淋方式。气盒优化,专利设计。

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本设备由MOCVD沉积室,进出样品室,自动样品传递杆,工作台,特气柜组成。可用MOCVD方式沉积ZnO。采用由下向上喷淋方式。气盒优化,专利设计。