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M45系列 单室MOCVD
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M45系列 单室MOCVD

本设备由MOCVD沉积室,工作台,特气柜组成。可用MOCVD方式沉积ZnO。采用由下向上喷淋方式。气盒优化,专利设计。

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商品描述

本设备由MOCVD沉积室,工作台,特气柜组成。可用MOCVD方式沉积ZnO。采用由下向上喷淋方式。气盒优化,专利设计。




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