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P34系列 电感式PECVD
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P34系列 电感式PECVD

       该产品是用在真空状态下,通过高压电极提供电能,对各种材料进行等离子体处理设备。设备由石英管真空腔体,机械泵系统,加热炉系统,高压清洗系统,工作台组成。

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       该产品是用在真空状态下,通过高压电极提供电能,对各种材料进行等离子体处理设备。设备由石英管真空腔体,机械泵系统,加热炉系统,高压清洗系统,工作台组成。