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C57系列 三室磁控溅射设备
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C57系列 三室磁控溅射设备

       本设备由三个真空室组成,从左到右依次为金属磁控溅射室,氧化物磁控溅射室,进样室和传递杆。

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       本设备由三个真空室组成,从左到右依次为金属磁控溅射室,氧化物磁控溅射室,进样室和传递杆。