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PD25系列 脉冲激光蒸发镀膜系统
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PD25系列 脉冲激光蒸发镀膜系统

本设备由球型真空室,旋转靶台,基片加热台,工作气路,真空系统,工作台,电控柜组成。主要用于制备超导薄膜,半导体薄膜,铁电薄膜,超硬薄膜等。

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商品描述

本设备由球型真空室,旋转靶台,基片加热台,工作气路,真空系统,工作台,电控柜组成。主要用于制备超导薄膜,半导体薄膜,铁电薄膜,超硬薄膜等。




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