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PD25系列 脉冲激光蒸发镀膜系统
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PD25系列 脉冲激光蒸发镀膜系统

本设备由球型真空室，旋转靶台，基片加热台，工作气路，真空系统，工作台，电控柜组成。主要用于制备超导薄膜，半导体薄膜，铁电薄膜，超硬薄膜等。

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商品描述

本设备由球型真空室，旋转靶台，基片加热台，工作气路，真空系统，工作台，电控柜组成。主要用于制备超导薄膜，半导体薄膜，铁电薄膜，超硬薄膜等。