| 分类 | 序号 | 主要技术参数 |
| 系统的构成 | 1 | 本设备为两个独立控制的蒸发腔室（A腔、B腔）和手套箱组成。真空室内外矩形开门方式，内门为隐藏式滑门。内外门上均安装有带挡板的观察窗。 |
| 2 | 每个腔室：可更换掩膜版12套，每个掩模版包含16个2.5*62.5px大小的样品区域；有机石英坩埚3mL×20；金属陶瓷钽炉坩埚3mL×30； |
| 3 | 真空获得系统2套：每套主要包括涡轮分子泵1台，机械泵1台，气动插板阀1台，气动CF35角阀1只，手动放气阀1只，KF40电磁压差阀1只，KF40气动截止阀1只 |
| 4 | 配件：空气压缩机1台：220V，排气量40L/min；冷水机1套：温度范围至少涵盖5~35℃，流量10L/min,水箱容量8L；低温冷水机1套：温度范围涵盖-20~35℃，流量10L/min，水箱容量5L。 |
| 真空指标 | 5 | 极限真空≤4×10-5Pa；漏率≤6.7×10-8Pa·L/S；工作真空≤5×10-4Pa，从大气到工作真空时间小于30分钟（新设备冷态下，连接手套箱）。系统保压：系统抽到4×10-5Pa后，停泵关机12小时后，系统真空度保持状态≤2Pa。 |
| 样品尺寸 | 6 | 样品尺寸134×134mm，放16片25×25mm样品；样品托尺寸：146×146mm，样品架与源表面距离340mm；A腔蒸发台源心径φ200mm。B腔蒸发台源心径φ220mm。 |
| 样品架配置 | 7 | 电动旋转，旋转定位精度不超过0.1°。样品挡板采用气动水平旋开方式。一套涵盖95到-20摄氏度可调。一套涵盖20摄氏度到400摄氏度可调， |
| 蒸发源配置 | 8 | A腔室：金属源4套，有机源4套。B腔室：有机源2套，无机源6套。。每个蒸发位含独立电控挡板 |
| 膜厚系统 | 9 | 每个真空腔含有水冷膜厚探头4只，每个腔室的膜厚仪为四通道。 |
| 加热电源配置 | 10 | A腔：无机电源2台，每个有机舟位由一个电源单独控制。B腔：无机电源2台，每个有机舟位由一个电源单独控制。 |
| 在线掩膜版库 | 11 | A腔含有1套在线掩膜板库，为6工位，可以实现不破真空换掩膜版。 |
| 真空测量系统 | 12 | A腔采用国产电阻+冷规复合真空测量方式。B腔配置的数显复合真空计。 |
| 膜厚及均一性 | 13 | 膜厚均匀性100nm≤±3%。金属源：采用3cc的陶瓷蒸发舟，以铝为标准，0.5-10Å/s稳定可控，蒸镀速率波动≤±0.1Å/S，均匀性优于±3%.有机源：采用3cc的高口石英坩埚，以NPB或Alq3为标准，蒸镀速率0.1-10Å/s稳定可控，蒸镀速率波动≤±0.1Å/S。 |
| 手套箱配置 | 14 | 手套箱根据需要定制。 |
| 安全措施 | 15 | 具有手套箱防抽爆功能，安装有信号检测和程序互锁部件，现场调试试验。 |
| 自动控制 | 16 | 具有自动抽真空，自动放气功能。具有自动镀膜功能，金属源包含手动/速率反馈/功率控制三种方式。有机源包含温度控制/功率控制/速率反馈控制三种方式。 |
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