真空的术语解释

真空的定义：真空系统指低于该地区大气压的稀簿气体状态

真空度：处于真空状态下的气体稀簿程度，通常用“真空度高”和“真空度低”来表示。真空度高表示真空度“好”的意思，真空度低表示真空度“差”的意思。

真空度单位：通常用托（Torr）为单位，国际上取用帕（Pa）作为单位。1托=1/760大气压=1毫米汞柱

托与帕的转换：1托=133.322帕　或　1帕=7.5×10-3托

平均自由程：作无规则热运动的气体粒子，相继两次碰撞所飞越的平均距离，用符号“λ”表示。

流量：单位时间流过任意截面的气体量，符号用“Q”表示，单位为帕·升/秒（Pa·L/s）或托·升/秒（Torr·L/s）。

流导：表示真空管道通过气体的能力。单位为升/秒（L/s），在稳定状态下，管道流导等于管道流量除以管道两端压强差。符号记作“U”。 U=Q/(P2- P1)

压力或压强：气体分子作用于容器壁的单位面积上的力，用“P”表示。

标准大气压：压强为每平方厘米101325达因的气压，符号：（Atm）。

极限真空：真空容器经充分抽气后，稳定在某一真空度，此真空度称为极限真空。通常真空容器须经12小时炼气，再经12小时抽真空，最后一个小时每隔10分钟测量一次，取                     其10次的平均值为极限真空值。

抽气速率：在一定的压强和温度下，单位时间内由泵进气口处抽走的气体称为抽气速率，简称抽速。即Sp=Q/（P－P0）

冷阱（水冷挡板）：置于真空容器和泵之间，用于吸附气体或捕集油蒸汽的装置。

气镇阀：油封机械真空泵的压缩室上开一小孔，并装上调节阀，当打开阀并调节入气量，转子转到某一位置，空气就通过此孔掺入压缩室以降低压缩比，从而使大部分蒸汽不致凝              结而和掺入的气体一起被排除泵外起此作用的阀门称为气镇阀。

真空冷冻干燥：真空冷冻干燥，也称升华干燥。其原理是将材料冷冻，使其含有的水份变成冰块，然后在真空下使冰升华而达到干燥目的。

真空蒸镀：在真空环境中，将材料加热并镀到基片上称为真空蒸镀，或叫真空镀膜。

真空干燥：利用真空环境下沸点低的特点来干燥物品的方法。

真空系统常用名称：
①主泵：在真空系统中，用于获得所需要真空度来满足特定工艺要求的真空泵，如真空镀膜机中的油扩散泵就是主泵。
②前级泵：用于维持某一真空泵前级压强低于其临界前级压强的真空泵。如罗茨泵前配置的旋片或滑阀泵就是前级泵。
③粗抽泵：从大气压下开始抽气，并将系统压力抽到另一真空泵开始工作的真空泵。如真空镀膜机中的滑阀泵，就是粗油泵。