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T16系列 团簇OLED复合镀膜设备
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T16系列 团簇OLED复合镀膜设备

       本设备采用中央室全自动机械手,在真空环境下完成各种镀膜方式的更换,连续制备各种薄膜。主要用于OLED连续性科研,生产与制备。

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       本设备采用中央室全自动机械手,在真空环境下完成各种镀膜方式的更换,连续制备各种薄膜。主要用于OLED连续性科研,生产与制备。