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R47系列 双室CIGS多源共蒸发
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R47系列 双室CIGS多源共蒸发

本设备专用于无机多源共蒸发。可以蒸发铜,金,锡,铟,镓等高温金属材料。并配有相应的分段温控系统。适合于CIGS器件的研发或其他多源共蒸发器件的研发。该设备主要由蒸发室,装片室,电动传递杆,工作台,独立电控柜组成。

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商品描述

本设备专用于无机多源共蒸发。可以蒸发铜,金,锡,铟,镓等高温金属材料。并配有相应的分段温控系统。适合于CIGS器件的研发或其他多源共蒸发器件的研发。该设备主要由蒸发室,装片室,电动传递杆,工作台,独立电控柜组成。