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R17系列 OLED双室多源共蒸发设备
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R17系列 OLED双室多源共蒸发设备

本设备由金属有机蒸发室，预处理室，工作台组成。样品可以在预处理室内进行等离子体清洗，或者选装样品库系统，可以在相同的真空环境下完成多次器件镀膜。

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本设备由金属有机蒸发室，预处理室，工作台组成。样品可以在预处理室内进行等离子体清洗，或者选装样品库系统，可以在相同的真空环境下完成多次器件镀膜。