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T21系列 团簇OLED中试复合设备
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T21系列 团簇OLED中试复合设备

本设备采用中央室全自动机械手，在真空环境下完成各种镀膜方式的更换，连续制备各种薄膜。主要用于OLED连续性科研，生产与制备。

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本设备采用中央室全自动机械手，在真空环境下完成各种镀膜方式的更换，连续制备各种薄膜。主要用于OLED连续性科研，生产与制备。