本系列设备是两套不同的镀膜室共用一套分子泵系统的设备。可以节省空间，节约成本。两套真空室分别安装于左右两侧，中间共用一套分子泵机组。本设备蒸发功能采用蒸发舟模式。磁控溅射功能采用圆靶溅射模式。可以分别对样品进行热蒸发和磁控溅射试验。
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