本设备专用于无机多源共蒸发。可以蒸发铜，金，锡，铟，镓等高温金属材料。并配有相应的分段温控系统。适合于CIGS器件的研发或其他多源共蒸发器件的研发。该设备主要由蒸发室，装片室，电动传递杆，工作台，独立电控柜组成。
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