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R20系列 内滑门金属有机共蒸发设备
本设备的蒸发室共有内外两个门,内门安装在手套箱内。可以在手套箱内手动装卸样品。可以对接定制手套箱。蒸发室内安装包含金属和有机源的蒸发台,样品架,膜厚测量控制系统等。
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本设备的蒸发室共有内外两个门,内门安装在手套箱内。可以在手套箱内手动装卸样品。可以对接定制手套箱。蒸发室内安装包含金属和有机源的蒸发台,样品架,膜厚测量控制系统等。
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