本设备由金属有机蒸发室，等离子体清洗室，旋涂封装手套箱，工作台组成。样品可以放在等离子体清洗室内进行清洗，自动传递到金属有机蒸发室内进行OLED各膜系研究，后传入到手套箱内，进行有机大分子旋涂或者封装操作。
产品咨询(124604168)