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  • [复合设备] F66系列 双室复合镀膜设备

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    本系列设备是两套不同的镀膜室共用一套分子泵系统的设备。可以节省空间,节约成本。两套真空室分别安装于左右两侧,中间共用一套分子泵机组。本设备蒸发功能采用蒸发舟模式。磁控溅射功能采用圆靶溅射模式。可以分别对样品进行热蒸发和磁

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  • [复合设备] T16系列 团簇OLED复合镀膜设备

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           本设备采用中央室全自动机械手,在真空环境下完成各种镀膜方式的更换,连续制备各种薄膜。主要用于OLED连续性科研,生产与制备。

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  • [复合设备] T21系列 团簇OLED中试复合设备

    ¥0.00¥0.00

    本设备采用中央室全自动机械手,在真空环境下完成各种镀膜方式的更换,连续制备各种薄膜。主要用于OLED连续性科研,生产与制备。

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